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精密半導體潔淨車間用無塵烘箱

精密半導體潔淨車間用無塵烘箱

潔淨無塵烘箱適用于半導體制造中矽片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等資料塗膠前的預處理烘烤、塗膠後堅膜烘烤和顯影後的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生産及科研部分;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的幹燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
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産品詳情

産品內容介紹


産品特點PRODUCT FEATURES

1、SUS304 1.5mm不锈钢板,全满焊工艺;

2、箱內風道內設有潔淨空氣入口並裝有高效過濾器。可使用換氣和不換氣模式,可以使箱內包管微正壓,以包管汙染物不可進入內箱;

3、高效过滤器HEPA过滤网构造洁净室,可以对箱体内气体进行单向过滤和循环过滤。根据使用要求,可以满足洁净级别ISO Class 5(国标100级),ISO Class 6(国标1000级),ISO Class 7(国标10000级)等各种等级的需求;

4、配置自動充氮氣裝置,與自動開關風門進行充氮烘烤;

5、全新開發觸摸屏操作系統,帶高精度PID主控儀,控溫精度爲±0.1℃,自動恒溫。可以保管配方,查看溫度曲線,導出升溫數據等;

7、選配件

 ①多點測溫查看及記錄功能;②氧含量剖析儀;③聯網功能;④HEPA高效過濾器;⑤快速降溫系統

6、根據使用要求,可以接受定制。

核心配置CORE CONFIGURATION

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